Großflächige Bauteile mit winzigen Details müssen zur Qualitätskontrolle oft unter dem Mikroskop untersucht werden. In der Halbleiter- und Elektronikindustrie ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des hohen Miniaturisierungsgrads besonders groß. Der Aufnahmeprozess bei der mikrosk...
