In Mikrosystemen werden metallische Bauteile zunehmend durch solche aus kostengünstigen Polymeren ersetzt. Da Polymere unter Druck nachgeben, lassen sich Schichtdicken mit herkömmlichen Tastschnittgeräten nicht exakt genug messen. Doch Präzision ist in der Mikrosystemtechnik von entscheidender Wicht...
